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        7nm高端DUV光刻機仍可出口!ASML:全力給中國客戶交付

        2023年9月1日 07:16  快科技  

        9月1日消息,ASML方面已經表示,將在年底前向中國客戶交付部分先進芯片制造裝備。

        據美國媒體報道稱,ASML已經獲得荷蘭官方的允許,在今年年底前向中國客戶出口其部分先進工具。

        按照ASML的說法,在2023年的剩余時間里,ASML將能繼續出貨其NXT:2000i和更先進的DUV型號的產品,這些產品從9月1日起就受到限制。

        至于2024年是不是可以繼續,ASML則表示暫時不能確定。

        據ASML官網提供的信息,該公司目前在售的主流浸沒式DUV光刻機產品共有三款,分別是:TWINSCAN NXT:1980Di、TWINSCAN NXT:2000i、TWINSCAN NXT:2050i。

        ASML官網上關于這一臺TWINSCAN NXT:1980Di的介紹,其中在分辨率方面,寫到是大于等于38nm(可以支持到7nm左右),而這是指一次曝光的分辨率,事實上光刻機是可以進行多次曝光的。

        編 輯:章芳
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